作為精密的檢測儀器，三坐標(biāo)測量儀的測量方向為XYZ軸（橫縱高三個方向），二次元的測量方向為X/Y軸（橫縱向），通常而言三坐標(biāo)測量儀是氣動設(shè)備、其精度會比二次元高一些（二次元也有氣動的,但價格高很多），其價格、重量方面也高于二次元，普通的機(jī)械導(dǎo)軌二次元價格大概在三到五萬左右,氣動的大概在20萬左右,三坐標(biāo)測量儀的話要更貴。三坐標(biāo)測量儀在很多范圍都有應(yīng)用，同時也可以測量工件的許多參數(shù)。

三坐標(biāo)測量儀

三坐標(biāo)測量儀由標(biāo)尺系統(tǒng)和測頭系統(tǒng)構(gòu)成，它們是三坐標(biāo)測量儀的關(guān)鍵組成部分，決定著CMM測量精度的高低。是集光、機(jī)、電、計算機(jī)及控制技術(shù)于一身的復(fù)雜的測量系統(tǒng)，因此影響其測量結(jié)果不確定的因素較多，但對于中、小型坐標(biāo)來說，環(huán)境溫度偏離標(biāo)準(zhǔn)測量溫度（20℃）是影響其測量結(jié)果不確定度的主要因素。為了使三坐標(biāo)能夠測出準(zhǔn)確的結(jié)果，應(yīng)將環(huán)境溫度嚴(yán)格地控制在坐標(biāo)機(jī)說明書要求的范圍內(nèi)。

在三坐標(biāo)測量儀的高精密測量中，微小的熱量也會影響精度的穩(wěn)定性，而當(dāng)出氣孔的孔徑小于一定的直徑的時候，卻會相反的會在出氣孔的周圍形成冷凝效應(yīng)，正是利用這一物理學(xué)原理，三坐標(biāo)測量儀采用歐潼小孔出氣的技術(shù)，使得冷凝效應(yīng)恰恰抵消測量中因為空氣摩擦產(chǎn)生的微弱熱量，使得設(shè)備保持長時間的溫度穩(wěn)定性。測量機(jī)的采點發(fā)訊裝置是測頭，在沿X，Y，Z三個軸的方向裝有光柵尺和讀數(shù)頭。其測量過程就是當(dāng)測頭接觸工件并發(fā)出采點信號時，由控制系統(tǒng)去采集當(dāng)前機(jī)床三軸坐標(biāo)相對于機(jī)床原點的坐標(biāo)值，再由計算機(jī)系統(tǒng)對數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。